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產(chǎn)品名稱：霍尼韋爾AWM3000系列氣流傳感器
產(chǎn)品系列：AWM3000系列
代理品牌：霍尼韋爾-Honeywell
壓力范圍：±30 SCCM; ±200 SCCM; ±1000 SCCM; ±5,0 mbar [2.0 in H20]
交期時(shí)間：現(xiàn)貨一般當(dāng)天交貨，預(yù)訂需電話詳情.
發(fā)貨貨倉：深圳
熱門標(biāo)簽：氣流傳感器選型，氣流傳感器替換
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產(chǎn)品詳情
霍尼韋爾傳感器_氣流傳感器_AWM系列傳感器_AWM40000系列傳感器的工作原理是熱傳遞。氣體質(zhì)量流量經(jīng)引導(dǎo)流過傳感元件的表面。輸出電壓與流過封裝進(jìn)出口的空氣或其他氣體質(zhì)量成正比。特殊設(shè)計(jì)的外殼精確地引導(dǎo)和控制氣流流過微結(jié)構(gòu)傳感元件。封裝的機(jī)械設(shè)計(jì)能夠輕松將其安裝在印刷電路板上。 霍尼韋爾傳感器_氣流傳感器_AWM系列傳感器_AWM40000系列傳感器內(nèi)含一塊獨(dú)特的基于先進(jìn)微結(jié)構(gòu)技術(shù)的硅芯片。該芯片采用薄膜和絕熱橋結(jié)構(gòu)，內(nèi)含加熱器和溫度傳感元件。橋結(jié)構(gòu)能夠快速靈敏地響應(yīng)流過芯片的空氣或其他氣體氣流。中心加熱元件兩側(cè)的雙傳感元件還能指示氣流流過的方向和速率。激光修正的厚膜和薄膜電阻保證了從每個(gè)傳感器之間始終具有一致的可互換性。 微橋氣體質(zhì)量流量傳感器利用包裹在氮化硅薄膜中的熱電阻。這些電阻呈懸浮狀態(tài)，在硅片的刻蝕腔上方形成兩座橋。芯片置于精確規(guī)格的氣流通道，提供可重復(fù)的流量響應(yīng)。通過在流量傳感橋下刻蝕空腔，發(fā)熱器和傳感電阻能實(shí)現(xiàn)高效的熱隔離。微橋式氣體質(zhì)量流量傳感器的小尺寸和熱隔離功能實(shí)現(xiàn)對氣流的極速響應(yīng)及高靈敏度。 惠斯通雙橋控制氣流測量——一個(gè)提供閉環(huán)發(fā)熱器控制，另一個(gè)包含雙感應(yīng)元件。加熱器電路通過提供與質(zhì)量流量成正比的輸出，最大程度地降低環(huán)境溫度變化導(dǎo)致的輸出變化。此電路可維持加熱器的溫度以高于環(huán)境溫度 (160 °C) 恒定溫差，而環(huán)境溫度則由芯片上的熱電阻測量得知。裝置的輸出與電源電壓成比例，也與惠斯通電橋電路的差分電壓相對應(yīng)。
產(chǎn)品特點(diǎn)
惠斯通雙橋控制氣流測量——一個(gè)提供閉環(huán)發(fā)熱器控制，另一個(gè)包含雙感應(yīng)元件。加熱器電路通過提供與質(zhì)量流量成正比的輸出，最大程度地降低環(huán)境溫度變化導(dǎo)致的輸出變化。此電路可維持加熱器的溫度以高于環(huán)境溫度 (160 °C) 恒定溫差，而環(huán)境溫度則由芯片上的熱電阻測量得知。裝置的輸出與電源電壓成比例，也與惠斯通電橋電路的差分電壓相對應(yīng)。
| 型號 | 信號調(diào)節(jié) | 補(bǔ)償溫度范圍 | 流量/壓力范圍 | 介質(zhì)兼容性 |
|---|---|---|---|---|
| AWM42300V | 非放大式 (mV) | -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] | ±1000 sccm (1 SLPM) | 僅干燥氣體 |
| AWM42150VH | 非放大式 (mV) | -25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F] | ±25 sccm | 氫氣 |
| AWM43600V | 放大 | 6 SLPM | 僅干燥氣體 | |
| AWM43300V | 放大 | 1000sccm (1 SLPM) | 僅干燥氣體 |
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